A kind of super purification control system which can realize the high spotless environment for LSI s manufacturing is introduced.
介绍了一种实现大规模集成电路 (LSI)无尘生产环境的超净化控制系统 ,该系统的现场控制回路采用了先进的仿人工智能PID控制算法 ,这种算法避免了系统反馈滞后的振荡缺陷 ,利用LonWorks的网络技术 ,实现整体净化系统的智能化、可视化控制。